Молекулярный насос с консистентной смазкой серии FB-Z оснащен первым в Китае пластинчатым зубом переменного сечения. В подшипнике используется прецизионный керамический подшипник с консистентной смазкой, который обеспечивает установку насоса под любым углом и очищает безмасляную среду высокого вакуума с более высокой надежностью.
Молекулярный насос с консистентной смазкой серии FB-Z оснащен первым в Китае пластинчатым зубом переменного сечения. В подшипнике используется прецизионный керамический подшипник с консистентной смазкой, который обеспечивает установку насоса под любым углом и чистую безмасляную среду высокого вакуума с более высокой надежностью. Из-за высокой степени сжатия газа с большими молекулами насос может создавать чистый высокий вакуум без необходимости использования охлаждающей ловушки. и маслоуловитель. Керамический прецизионный подшипник с консистентной смазкой для установки под любым углом насоса.
Модель | FB300Z(F) | FB650Z(F) | FB1300Z(F) | FB2000Z(F) | |||||
Входной фланец | - | 100 ISO-K | 100 CF | 160 ISO-K | 150 CF | 200 ISO-K | 200 CF | 250 ISO-K | 250CF |
Выходной фланец | - | KF25 | KF40 | KF40 | KF50 | ||||
Скорость откачки | л/с | 300 | 650 | 1300 | 2000 | ||||
Степень сжатия N2/H2 | - | 1×108/1×103 | 1×109/1×104 | 1×109/1×104 | 1×109/1×104 | ||||
Предельное давление | Па | 5×10-7 | 8×10-8 | 5×10-7 | 8×10-8 | 5×10-7 | 8×10-8 | 5×10-7 | 8×10-8 |
Скорость вращения | об/мин | 33000 | 24000 | 24000 | 24000 | ||||
Время запуска | мин | 3.5 | 5 | 5 | 5 | ||||
Вибрация | μm | ≤ 0.1 | ≤ 0.1 | ≤ 0.1 | ≤ 0.1 | ||||
Скорость форвакуумного насоса | л/с | 2 | 4-8 | 8-15 | 8-15 | ||||
Температура охлаждающей воды | ℃ | ≤ 20 (температура окружающей среды <37 ℃) | ≤ 20 (температура окружающей среды <37 ℃) | ≤ 20 (температура окружающей среды <37 ℃) | ≤ 20 (температура окружающей среды <37 ℃) | ||||
Температура насоса | ℃ | ≤ 80 | ≤ 80 | ≤ 80 | ≤ 80 | ||||
Поток охлаждающей воды | л/мин | 1 | 1 | 1 | 1 | ||||
Направление установки | - | Любой | Любой | Любой | Любой | ||||
Масса | кг | ~ 11 | ~ 26 | ~ 27 | ~ 31 |
фотогальваника, освещение, аэрокосмическая, полупроводниковая, энергетическая, военная, лазерная, бытовая техника, материалы, автомобильная промышленность и научные исследования.