Типы вакуумных насосов

Вакуумный насос относится к устройству или оборудованию, в котором используются механические, физические, химические или физико-химические методы для вакуумирования перекачиваемого контейнера для получения вакуума. Говоря простым языком, вакуумный насос — это устройство, использующее различные методы для улучшения, создания и поддержания вакуума в замкнутом пространстве.

  С развитием вакуумных применений было разработано много типов вакуумных насосов, скорость откачки которых колеблется от нескольких десятых долей литра в секунду до сотен тысяч и миллионов литров в секунду. В области производства и научных исследований требования вакуумной техники к диапазону давлений ее применения становятся все шире и шире. Большинство вакуумных насосных систем должны состоять из нескольких вакуумных насосов, чтобы соответствовать требованиям производственного и научно-исследовательского процесса.

  Из-за широкого диапазона рабочих давлений в области применения вакуума невозможно, чтобы какой-либо тип вакуумного насоса был полностью подходящим для всех диапазонов рабочего давления. Для удобства использования и нужд различных вакуумных процессов, различные вакуумные насосы иногда комбинируют в соответствии с требованиями к их производительности и применяют в виде блоков.

  Обычно используемые вакуумные насосы включают сухие винтовые вакуумные насосы, вакуумные насосы с сухой спиралью, водокольцевые насосы, поршневые насосы, насосы с золотниковым клапаном, роторно-лопастные насосы, насосы Рута, диффузионные насосы и т. д.

1. Основные параметры вакуумных насосов

   а. Предельное давление

       При подключении вакуумного насоса к камере и отсутствии подачи газа осуществляется непрерывная откачка в течение длительного времени. Когда давление газа в полости уже не падает, а остается на определенном уровне, это давление является предельным давлением вакуумного насоса. Единица измерения может быть Па или мбар.

   б. Скорость откачки

       Количество газа, протекающего через вход вакуумного насоса в единицу времени, является скоростью откачки. Единицей измерения является л/с или м3/ч.

       Скорость откачки вакуумного насоса зависит от типа газа. Если не указано иное, скорость откачки относится к скорости откачки воздуха.

   в. Начальное давление

       Давление запуска относится к давлению, при котором вакуумный насос запускается без повреждений и оказывает насосное действие, и его единицей измерения является Па или мбар.

   д. Степень сжатия

       Степень сжатия относится к отношению давления на выходе к давлению на входе насоса для данного газа.

2. Классификация вакуумных насосов

   По принципу работы вакуумные насосы можно разделить на два основных типа: насосы для перекачки газа и насосы для улавливания газа.

   В соответствии с его рабочими характеристиками и использованием его можно разделить на: насос низкого вакуума, насос среднего вакуума, насос высокого вакуума и насос сверхвысокого вакуума.

   а. Низковакуумный насос: поршневой вакуумный насос, роторный вакуумный насос, жидкостно-кольцевой вакуумный насос, пароструйный вакуумный насос и адсорбционный вакуумный насос.

   б. Средневакуумный насос: вакуумный насос Рутса, многоступенчатый струйный вакуумный насос, многоступенчатый роторно-механический вакуумный насос и высокоскоростной роторно-механический вакуумный насос.

   в. Высоковакуумный насос: диффузионные насосы и молекулярные насосы.

   д. Сверхвысоковакуумный насос: ионные насосы, крионасосы и т. д.

3. Диапазон рабочего давления и начальное давление вакуумного насоса

4. Применение вакуумных насосов

   Вакуумные насосы широко применяются в машиностроении, металлургии, химической, медицинской, пищевой, электронной, полупроводниковой, энергетической, физике высоких энергий, аэрокосмической и других областях.